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光刻装置及器件制造方法.pdf

简介：一种光刻投影装置，使用一定体积的第二液体将第一液体限制在投影系统和基底之间的空间中。在一个实施例中，第一液体与第二液体基本上是不可混合的，并且第一液体可以是环烷，例如环辛烷、萘烷、双环已烷、外型四氢双环戊二烯以及环己胺，其它高指数碳氢化合物，全氟聚醚，例如全氟－N－甲基吗啡啉以及全氟E2，全氟烷烃，例如全氟己烷、以及含氢氟醚；第二液体可以是水。
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