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简介:目的在于形成稠密且具有强绝缘电阻特性的高质量栅绝缘膜,并提出一种其中几乎没有隧道漏电流的高可靠性有机晶体管。本发明的有机晶体管的一个模式具有以下步骤:通过使用稠密等离子体用等离子激活来激活氧(或含氧的气体)或氮(或含氮的气体)等形成将变为栅极的导电层而形成栅绝缘膜,以及直接与将被绝缘的变为栅极的导电层的一部分反应,等离子体中的电子密度是1011cm-3或更大,且电子温度在0.2eV至2.0eV的范围内。
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