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光刻装置及器件制造方法.pdf

简介：公开了一种光刻装置，其具有可变形透镜元件，图案化的辐射光束可设置成在到达衬底之前通过该可变形透镜元件，并且具有可变形透镜促动器，该可变形透镜促动器设置成可传递基本上平行于投影系统光轴的作用力以及独立地位于该可变形透镜元件的多个子区域处并绕基本上垂直于该光轴的轴线的局部扭矩的组合。
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