合集
标准
方法
手册
讲义
报价单
谱图库
色谱图
质谱图
光谱图
X-射线图
波谱图
显微图
更多
专利
样本
相关软件
用户通讯
招标文件
新冠肺炎
其他
标准查询
今日免费资料
论文索引
您还有
0
次抽奖机会
锤子
您现在的位置:
首页
>
资料中心
>
专利下载
>
湿浸式光刻系统中用于清洗半导体衬底的方法和设备.pdf 下载
湿浸式光刻系统中用于清洗半导体衬底的方法和设备.pdf
扫码解锁,免费下载文件
请使用
最新版本仪器信息网APP
扫码登录
步骤:
打开仪器信息网APP并登录 ——》点击APP首页右上角扫一扫 ——》APP端确认解锁 ——》PC端下载文件
免费注册
简介:一种方法和设备,用于减少和防止残留物的形成,并移去在湿浸式光刻工具中形成的残留物。该设备包括在湿浸式光刻系统的湿浸头内引入清洗机制,或包括在湿浸式光刻系统的清洗台中引入清洗机制。
所需积分:
50 分
所需积分:
50 分
0分
下载次数:0 次
获取积分:页面上方
资料大小: 1310 KB
上传人:
dahua1981
上传日期:2023-04-19
收藏资料
(0)
评论
(
0
)
举报
扫码免费下载
200份精品资料,免费下载
千种礼品,积分兑换
相关阅读
博众精工:2024年H1推出透射电镜第二代产品 H2将发布热场发射电子源和高压电源等产品
PHT Inc.黄清敏先生谈关于全球芯片短缺对半导体供应链的影响
请教一下测试晶体材料的质子传导率装置
热门资料
GJB 438C-2021.pdf
《拉曼光谱使用实操手册》-带书签-1706页-仪器信息网整编.pdf
气相色谱常见故障及应对方案对照表(各种故障采取的具体措施)
SAE J726 (R) AIR CLEANER TEST CODE
GB 50141-2008 给水排水构筑物工程施工及验收规范
《固定污染源排气中颗粒物和气态污染物采样方法》GB/T 16157-1996
GB/T 29461-2012 聚乙烯管道电熔接头超声检验.pdf
水质总大肠菌群、粪大肠菌群和大肠埃希氏菌的测定酶底物法(HJ 1001-2018)
DZ-0011-2015地球化学普查规范2015.pdf
品管相关资料FEMA
最新资料
《拉曼光谱使用实操手册》-带书签-1706页-仪器信息网整编.pdf
JBT 6714.1-2007 农业拖拉机液压悬挂系统技术条件.pdf
新质生产力研究报告(2024年).pdf
JBT 6714.2-2007 农业拖拉机液压悬挂系统试验方法.pdf
电线电缆黑色聚乙烯物理力学性能及电性能要求
电线电缆聚乙烯炭黑含量测试标准(直接燃烧法)
QBT 4597-2013 移门轮轨通用技术条件.pdf
北美异型钢隔墙板设计标准
GJB 3065-1997.pdf
个人防护装备 跪姿作业用护膝 第6部分
相关资料
半导体晶片的处理方法及浸湿式光刻的方法.pdf
衬底曝光方法和光刻投影设备.pdf
评估衬底的模型的方法、检查设备和光刻设备.pdf
极紫外光刻的薄膜、光刻方法和制造半导体器件的方法.pdf
用于在制造半导体过程中清洗光刻胶的清洗剂制品.pdf
衬底支座、用于在衬底支撑位置上加载衬底的方法、光刻设备和器件制造方法.pdf
一种半导体清洗设备.pdf
对半导体器件中的部件进行构图的方法及光刻结构.pdf
布线衬底以及半导体装置的制造方法.pdf
GBT 36005-2018 半导体照明设备和系统的光辐射安全测试方法.pdf
最新方案
食品/农产品
环保
制药/生物制药
其他
更多解决方案>>
兽药中含量测试检测方案(液相色谱仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
API 和凝胶胶囊中重金属检测方案(微波消解仪)
应用领域:
相关评论
您的评论:
推荐
发表评论
还可以输入
500
字
品牌合作伙伴
上传资料
一键询价
下载该资料的还下载
一种白酒中铅的测定分析前处理方法
下载 11 次
|
10 积分
|
471 kb
用于清洗通过立体光刻制造的物体的设备和增材制造系统.pdf
下载 1 次
|
50 积分
|
794 kb
半导体器件及其制造方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
4949 kb
CN110943206A正极活性材料及其制备方法和含有该正极活性材料的电池.pdf
下载 0 次
|
30 积分
|
1077 kb
Nanoscale investigation of the degradation mechanism of a historical chrome yellow paint by quantitative electron energy loss spectroscopy mapping of
下载 0 次
|
10 积分
|
4761 kb
更多
>>
推荐会议
更多
>>
推荐课程
气相色谱-质谱联用技术
¥5980
场发射扫描电镜专业进阶(体验版)
¥199
个人版:质谱不神秘
¥5980
【自营】有机质谱谱图解析技巧
¥1999
上传者上传的其他资料
《拉曼光谱使用实操手册》-带书签-1706页-仪器信息网整编.pdf
YDT 4878.3-2024智能视讯设备技术要求和测试方法 第3部分:通用信息安全(报批稿).pdf
GB_T 22076-2024气动 圆柱形快换接头(报批稿) (1).pdf
GB_Z 43684-2024 纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数(报批稿).pdf
GB_T 33285.2-2024 皮革和毛皮 烷基酚及烷基酚聚氧乙烯醚的测定 第2部分:间接法(报批稿).pdf
GB_T 1464-2024 夹层结构或芯子密度试验方法(报批稿).pdf
下载排行
本周
本月
全部
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
7
原子吸收中的干扰及其抑制
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
原子吸收中的干扰及其抑制
7
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
1
Q2XXX系列DSC产品介绍
2
研究论文集(理论篇)--论文六:用
3
微波催化有机化学反应机理研究
4
研究论文集(理论篇)--论文七:论
5
LC2000性能测试报告
6
Q系列TMA热机械分析仪 产品介绍
7
epMotion 5075如何出色地完成96
8
环境监测分析实验室的质量管理特
9
物理化学专业工具软件做物化实验
请输入验证码
请输入图中
蓝色的字
免积分下载
确认
输入错误!
仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!
安装App资料免费下
资料微服务您的资料助手