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与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物.pdf

简介：提供了能够减少从底材返回到外涂光刻胶层的曝光射线的反射和/或可用作表面流动控制或中介填充层的组合物和方法。优选本发明涂料组合物和方法可以提供增强的外涂光刻胶层图案分辨率，并包括使用低活化温度热产酸剂以及多次热处理，加工底涂料组合物层。
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