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感应场压的压印光刻的方法和设备.pdf

简介：一改进的压印光刻方法包括使用来自电场或磁场的感应场压从而将一模具压在具有可模压面的衬底上。本质上其方法包括的步骤是提供一具有可模压面的衬底，提供一具有压模面的模具，并通过电场或磁场一起挤压压模面和可模压面从而将压模面压在可模压面上。压模面包含有纳米级或间隔的多个突出形体较为有利，但是压模面就平面化而言也可以是一平滑的平面。所述的改进的方法可以不需机械压力机也不需密封模具和衬底之间的区域而使用。
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