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多层光刻模板.pdf

简介:本发明涉及半导体器件、微电子器件、微机电器件、微流体器件、光子器件,更具体地涉及一种多层光刻模板、一种形成多层光刻模板的方法,以及一种使用多层光刻模板形成器件的方法。所述多层光刻模板(10/10′)具有第一凸版结构和第二凸版结构,从而限 详细>
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