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聚合物和含有该聚合物的光刻胶.pdf

简介：提供具有非碳四价元素(Si、Ti、Ge、Zr、Sn)的新聚合物和含有这种聚合物的光可成像组合物。优选的聚合物是有机的，如一种或多种含有碳原子的聚合物重复单元。尤其优选的是含有SiO2或TiO2重复单元的聚合物，并且其可以有利的用作在短波长例如亚－300nm和亚－200nm下抗蚀剂成像的树脂组分。
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