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化学放大型光刻胶组合物.pdf

简介：一种化学放大型光刻胶组合物，它含有通过将粗树脂(1)与活性炭接触所得到的经处理过的树脂(1)、酸产生剂以及溶剂，其中树脂(1)是(a)(甲基)丙烯酸树脂，它不溶或微溶于碱水溶液，但经酸作用后能溶于碱水溶液，它包含在其侧链上具有脂环烃基团的重复单元，或者(b)苯乙烯树脂，它不溶或微溶于碱水溶液，但经酸作用后能溶于碱水溶液，它含有由羟基苯乙烯衍生而来的重复单元，以及制备它的方法。
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