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装载锁定装置，包括该装置的光刻设备及制造基底的方法.pdf

简介：用于光刻设备的装载锁定装置，被设置用来把类似于基底(W)的物体转移到光刻设备和从光刻设备中转移出来。装载锁定装置的外壁(38；40)限定装载锁定装置容积的至少一部分，以便当物体在所述装载锁定装置中时，该容积可容纳支承物体(W)的支承部件(33；141)。该装载锁定装置还包括温度调节结构，用来至少在物体从装载锁定装置向光刻投射装置转移之前，控制物体的温度达到要求的温度。
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