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含有树脂掺合物的光刻胶组合物.pdf

简介：本发明提供含有光敏组分和至少两种不同的树脂的掺合物的新的正性光刻胶组合物，所述至少两种不同的树脂为：i)含有杂取代(尤其是羟基或巯基)的碳环芳基单元的第一树脂，和ii)第二交联的树脂。本发明优选的光刻胶可以用短波(例如小于200纳米，特别是193纳米)成像。
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