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光刻装置、器件制造方法和由此制造得到的器件.pdf

简介：一种光刻投射装置包括用于将带图案的光束投射到基底的靶部上的投射系统。该投射系统包括一个或多个光学致动镜和特殊定位以阻隔到达或来自该镜和/其支撑结构的热辐射。该热护罩可被有效冷却并且该多个镜和多个镜护罩分别被支撑在支撑框架上以减少由于致动冷却造成的镜组的振动。该热护罩最好包括阻隔到达或来自支撑结构热护罩和/或阻隔到达或来自该镜组的热辐射的每个镜各自的热护罩。
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