合集
标准
方法
手册
讲义
报价单
谱图库
色谱图
质谱图
光谱图
X-射线图
波谱图
显微图
更多
专利
样本
相关软件
用户通讯
招标文件
新冠肺炎
其他
标准查询
今日免费资料
论文索引
您还有
0
次抽奖机会
锤子
您现在的位置:
首页
>
资料中心
>
专利下载
>
激光装置、激光辐射方法及半导体器件及其制造方法.pdf 下载
激光装置、激光辐射方法及半导体器件及其制造方法.pdf
扫码解锁,免费下载文件
请使用
最新版本仪器信息网APP
扫码登录
步骤:
打开仪器信息网APP并登录 ——》点击APP首页右上角扫一扫 ——》APP端确认解锁 ——》PC端下载文件
免费注册
简介:提供了一种可以提高基片处理的效率的连续振荡激光装置、一种激光辐射方法,和一种用该激光装置制造半导体器件的制造方法。根据掩模来控制在图形化以后应留在基片上的半导体薄膜的部分。然后,决定要由激光扫描的部分以便可以使至少通过图形化
简介:提供了一种可以提高基片处理的效率的连续振荡激光装置、一种激光辐射方法,和一种用该激光装置制造半导体器件的制造方法。根据掩模来控制在图形化以后应留在基片上的半导体薄膜的部分。然后,决定要由激光扫描的部分以便可以使至少通过图形化所得到的部分晶化。同时,束斑照射到要扫描的部分。因此,将半导体薄膜部分晶化。即,根据本发明,激光不扫描和辐射半导体薄膜的整个表面而是进行扫描使至少必不可少的部分被晶化。根据上述结构,可以节省激光辐射在半导体薄膜晶化以后将要通过图形化而去除的那一部分上所用的时间。
详细>
所需积分:
50 分
所需积分:
50 分
0分
下载次数:0 次
获取积分:页面上方
资料大小: 3778 KB
上传人:
dahua1981
上传日期:2023-04-19
收藏资料
(0)
评论
(
0
)
举报
扫码免费下载
扫码免费下载
相关阅读
三星旗下Semes成功开发ArF-i光刻涂胶/显影设备
芯恩“晶圆承载装置和半导体检测系统”专利获授权
热门资料
水浴恒温振荡器恒温摇床使用说明
等离子体质谱分析技术
DL/T 797-2012 风力发电场检修规程.pdf
安捷伦液相色谱日常维护与故障诊断.pdf
18 UV-8000紫外光-可见光分光光度计软件使用说明书(1).pdf
徕卡电镜制样产品资料_Leica EM ICE高压冷冻仪_样本、参数、价格、应用案例、配置对比等
SH/T 0712-2002 汽油中铁含量测定法(原子吸收光谱法)
ICP-MS讲座:27. ICP-MS测量的校准
工业过程气体监测整体解决方案
GBT 43456-2023 用电检查规范.pdf
最新资料
UIC 660.pdf
MIL-STD-2223.pdf
铝铸件检验用标准数字参考图像
GBT 32357-2015 废弃电器电子产品回收处理污染控制导则.pdf
幕墙 产品标准
纤维混凝土石板及配件 产品规格和试验方法
SH_T 3226-2024 石油化工过程风险定量分析标准
在线多参数MPG-5099S
博取仪器高温仪表传感器样本册
DOG-2082YS荧光法溶氧说明书
相关资料
激光辐照方法、激光辐照装置和半导体器件制造方法.pdf
激光器照射装置和方法以及半导体器件的制造方法.pdf
处理光束的方法激光照射装置以及制造半导体器件的方法.pdf
激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件的制作方法.pdf
用激光处理半导体器件的方法.pdf
辐射产生器件、光刻装置、器件制造方法及由此制造的器件.pdf
半导体装置及其制造方法.pdf
半导体装置及其制造方法.pdf
半导体装置及其制造方法.pdf
半导体装置封装及其制造方法.pdf
最新方案
食品/农产品
环保
制药/生物制药
其他
更多解决方案>>
兽药中含量测试检测方案(液相色谱仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
API 和凝胶胶囊中重金属检测方案(微波消解仪)
应用领域:
相关评论
您的评论:
推荐
发表评论
还可以输入
500
字
品牌合作伙伴
上传资料
一键询价
下载该资料的还下载
发明专利申请说明书CN85100978.pdf
下载 1 次
|
1 积分
|
68 kb
高级光刻和自组装装置.pdf
下载 1 次
|
50 积分
|
19943 kb
一种III-V族半导体芯片.pdf
下载 1 次
|
50 积分
|
1741 kb
用于光电子学的半导体芯片及其制造方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
1976 kb
一种在线检测皮带上煤炭灰分的方法
下载 8 次
|
10 积分
|
400 kb
更多
>>
推荐会议
第七届细胞分析网络会议
品质探索:仪器分析技术在酒及饮料行业中的应用研讨会
如何加速实验室阶段的微生物发酵工艺开发
质谱知识,等你来探
更多
>>
推荐课程
企业版:气相色谱-质谱联用技术
¥5980
热重分析技术与应用体系课
¥169
【自营】化学计量学与近红外光谱 通关宝典
¥1999
【自营】有机质谱谱图解析技巧
¥1999
上传者上传的其他资料
GB_T 43925-2024 套管和油管全尺寸拉伸应力腐蚀试验方法.pdf
20_WD_2403716_煤矿复垦与生态修复农用地监测评价技术规范.pdf
GB_T ×××—202× 教学设施安全和管理要求.pdf
GBT 43938.1-20xx_碳纤维增强复合材料薄壁管件力学性能试验方.pdf
GBT 13930-20xx水环真空泵和水环压缩机 气量测定方法.pdf
20_WD_2020102908_绿色制造 制造企业绿色供应链管理 实施指.pdf
下载排行
本周
本月
全部
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
7
原子吸收中的干扰及其抑制
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
原子吸收中的干扰及其抑制
7
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
1
Q2XXX系列DSC产品介绍
2
研究论文集(理论篇)--论文六:用
3
微波催化有机化学反应机理研究
4
研究论文集(理论篇)--论文七:论
5
LC2000性能测试报告
6
Q系列TMA热机械分析仪 产品介绍
7
epMotion 5075如何出色地完成96
8
环境监测分析实验室的质量管理特
9
物理化学专业工具软件做物化实验
请输入验证码
请输入图中
蓝色的字
免积分下载
确认
输入错误!
仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!
安装App资料免费下
资料微服务您的资料助手