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具有浮岛电压维持层的功率半导体器件的制造方法.pdf

简介：一种功率半导体器件及其制造方法，提供衬底(402)，并接着通过在衬底(402)上淀积外延层(401)和在外延层(401)中形成至少一个沟槽而在衬底(402)上形成电压维持区。沿着沟槽壁淀积阻挡材料并穿过阻挡材料把掺杂剂注入到邻近沟槽底部并在沟槽底部 详细>
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