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扩展光刻模拟积分范围的方法.pdf

简介：一种计算掩模多边形远程成像贡献的方法。引入了一种算法，应用于光刻工艺中的光学邻近校正。一个多边形中每个扇区的一个有限积分取代了无限积分。不是在全扇区上积分，而是在两个三角形上积分，实现了有限积分。对一种幂定律内核提出了一种解析方法，把扇区的数值积分简化为解析表达式求值。通过截断掩模而不是截断内核函数，把掩模多边形划分为若干区域以计算相互作用效应，比如中程和远程效应。
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