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光刻装置和器件制造方法.pdf

简介：对准系统使用自参考干涉仪，产生两个重叠和相对旋转的对准标记图像。探测器检测图像的傅立叶变换产生干涉的光瞳平面的强度。从两个图像的衍射级相位的差异获得位置信息，所述差异表示在干涉级中强度的变化。通过测量衍射级两侧两个位置处的强度也能够测量不对称性。
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