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半导体器件及其制造方法.pdf

简介：本发明的目的是提高结晶半导体薄膜的取向比，这种半导体薄膜是通过让非晶半导体薄膜结晶，同时将玻璃这种不太耐热的材料用作基底获得的，从而利用结晶半导体薄膜提供跟单晶器件具有同样高质量的半导体器件。在基底上形成第一层结晶半导体薄膜和第二层结晶半导体薄膜，它们一起构成一层结晶半导体。第一层和第二层结晶半导体薄膜是具有多个晶粒聚集在一起的多晶体。
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