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具有与真空室连通的真空掩模版库的光刻设备.pdf

简介：一种包括曝光室和掩模版夹持器的光刻设备，该夹持器按该光刻设备的用户指令，更换要曝光的掩模版。该掩模版夹持器可以包括：能适应真空的机器人；容纳该机器人的真空室；用于输入各掩模版并把它们从大气压过渡到真空的装入闸室；处理该掩模版的 详细>
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