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光刻装置和器件的制作方法.pdf

简介：在使用镜的照明系统中，场小平面镜的小平面将多个源图像聚焦在光瞳小平面镜的对应小平面上来实现积分器的功能。提供一种小平面掩模装置来有选择地遮蔽光瞳小平面镜的小平面。该小平面掩模装置具有可选择插入投射束内来提供中间照明设定的栅格。该栅格具有的间距小于源图像但大于投射束的波长，以便使衍射不存在。
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