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化学放大型正光刻胶组合物.pdf

简介:一种化学放大型正光刻胶组合物在如分辨率、轮廓、灵敏度、干蚀抗蚀性和附着性等性质中具有良好的平衡,它含有具有下列聚合单元(A)、(B)和(C)的树脂,和产酸剂,其中聚合单元(A)、(B)和(C)如说明书所定义。
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