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简介:一种水溶性聚合物,当该聚合物与光致酸生成剂(PAG)一起使用时,形成负性水溶性光刻胶。该聚合物包括通过连接基团与缩醛保护的β-酮酸基团偶联的主链,如聚乙烯基醚。通过加入大量的市购光致酸生成剂,聚合物制剂形成水溶性负性光刻胶。照射曝光会
简介:一种水溶性聚合物,当该聚合物与光致酸生成剂(PAG)一起使用时,形成负性水溶性光刻胶。该聚合物包括通过连接基团与缩醛保护的β-酮酸基团偶联的主链,如聚乙烯基醚。通过加入大量的市购光致酸生成剂,聚合物制剂形成水溶性负性光刻胶。照射曝光会造成先致酸催化缩醛基团脱保护,生成β-酮酸,该β-酮酸在加热时会发生脱羧,得到水不溶性光致产品并放出二氧化碳副产品。该光化学诱导反应导致聚合物溶解度参数明显变化,且产品不再溶于水。由于溶解度改变不需要交联,因此显影期间暴露于含水基质时不会出现刻蚀图象溶胀,因此不会降低分辨率。这使所用的光刻胶在i-线和深UV波长下具有高分辨率。
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