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一种化学增强型正光刻胶组合物.pdf

简介：一种化学增强型正光刻胶组合物在粘合到基质优良,并在光刻胶性能上优良,并适于使用KrF受激准分子激光曝光机、ArF激光曝光机等曝光,含一种具有一种2－烷基－2－金刚烷基甲基丙烯酸酯聚合单位,和一种单体选自3－羟基－1－金刚烷基(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯腈的聚合单位的树脂,以及有一种酸发生剂。
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