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液滴雾的产生方法和装置远紫外光源和衬底的光刻装置.pdf

简介：本发明涉及用于产生微米和亚微米液滴浓雾的方法和装置,用于在远紫外光的产生,尤其是用于光刻技术的光的产生。其特征为把加压的液体(4)注入到非常小直径并向真空室内张开的喷嘴(10)内。通过把激光辐射(36)聚束到浓雾(23)上产生光(42)。
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