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化学放大型正光刻胶组合物.pdf

简介：提供了一种正光刻胶组合物,该组合物包括一种含有下式(Ⅰ)代表的2－烷基－2－金刚烷基(甲基)丙烯酸酯聚合单元的树脂:其中R1代表氢或甲基和R2代表烷基,该树脂不溶或几乎不溶于碱,但在酸的作用下能变成溶于碱;和一种下式(Ⅴ)代表的酸发生剂:其中Q1、Q2和Q3独立地代表氢、羟基、含1—6个碳原子的烷基或含1—6个碳原子的烷氧基,n是4—8的整数;该光刻胶被ArF激发物激光曝光后具有良好的分辨率并且几乎无基体依赖性。
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