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负作用化学放大的光刻胶组合物.pdf

简介：一种化学放大的、副作用的、辐射敏感性光刻胶组合物，该组合物可在碱性介质中显影，该光刻胶包括：a)含有环键合羟基的酚类成膜聚合物粘合剂树脂；b)在曝露于辐射时形成酸的光酸产生剂，数量足以引发成膜粘合剂树脂的交联；c)在曝露于来自步骤b)通 详细>
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