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包含具有酸不稳定侧基的多环聚合物的光刻胶组合物.pdf

简介：本发明涉及包含光致酸引发剂和多环聚合物的辐射敏感性光刻胶组合物,所述多环聚合物的重量单元包含酸不稳定侧基。通过暴露于成像辐射源,该光致酸引发剂产生一种能够将酸不稳定侧基开裂的酸,从而改变了聚合物的极性。这种聚合物在暴露于成像源的区域中可溶于碱水溶液。
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