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具有无源元件的半导体器件及其制备方法.pdf

简介：半导体器件及制备半导体器件的方法。在绝缘介电层(12)中形成镶嵌金属层(16)，绝缘介电层直接与基底(10)电连接。诸如第一电容电极层(20)的无源元件层沉积在金属层(16)上，相对于金属层(16)，第一电容电极层最好偏置，使其通过通孔(36)与金属层(1 详细>
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