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为光刻产生的石英晶体坯片单一分割的刻蚀法.pdf

简介：一种用于单一分割的刻蚀(200)光刻产生的石英晶体坯片的方法。第一步,在石英片的二侧涂覆金属以及随后在二侧涂覆光致抗蚀剂(202)。第二步,对光致抗蚀剂图形化和显影并刻蚀金属层以界定带有窄石英沟道(暴露于待要单一分割的坯片与石英母片204 详细>
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