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制造具有结晶半导体膜的半导体器件的方法.pdf

简介：一种制造具有结晶硅膜的半导体器件的方法，它由在非晶硅膜的表面区域形成晶核和利用激光从晶核生长晶体两个步骤组成。典型的晶核是硅晶体或具有与硅晶体相同结构的金属硅化物。
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