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光刻胶剥离液管理装置.pdf

简介：光刻胶剥离液管理装置,为把光刻胶剥离液品质控制为恒定,削减液体使用量、减少工作时间和降低价格,构成为具有:光刻胶剥离液排出装置,用于用吸光光度计16检测光刻胶剥离液的溶解光刻胶浓度以排出光刻胶剥离液;第1补给装置,用于用液面水平计3检测光刻胶剥离液的液面水平以补给光刻胶剥离原液和纯水;第2补给装置,用于用吸光光度计15检测光刻胶剥离液的水分浓度以补给光刻胶剥离原液和纯水中的至少一方。
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