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电子级双氧水的颗粒管控浅议

简介：双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级 、食品级 、工业级等 。 电 子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程前 端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂， 蚀刻剂和光刻胶去除剂 ，还可用于高级绝缘层制取 ，电镀液无机杂质去 除 ， 电子行业中铜 、铜合金和镓 、锗的处理 ， 以及太阳能硅晶片的蚀刻 和清洗 。 从行业产量来看 ， 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万 吨 ， 同 比增长 32.0%。
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