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电子级双氧水的颗粒管控浅议

简介：双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级、食品级、工业级等。电子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂，在半导体制程前端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。从行业产量来看，2021年我国高纯电子级双氧水产量9.44万吨，同比增长32.0%。
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