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DB31792-2020硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额.pdf

简介：本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降 耗导向. 本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片，包括研磨片、抛光片、外廷片(以下统称“硅片”)生产企 业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
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