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DB31+506-2020集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额 .pdf

简介：本文件规定了集成电路晶四制造过程的单位产品能源清耗(以下简称能耗)限额的技术要求、统计 范围、计算方法、节能管理与措施. 本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能 耗控制。 本文件不适用于12英寸40nm及以下工艺制程的集成电路制造企业，
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