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涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势（三）

简介：5、结束语 国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境，但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可靠先进的批量国产产品。进口涡旋 详细>
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