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实验电热板助力电路行业电子级多晶硅基体金属杂质的测定

简介：本文参照标准《GB／T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》使用实验电热板HT-300消解、ICP-MS测定电子级多晶硅中铁、铬、镍、铜、锌、钠的含量。
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  • 上传人： 广州格丹纳仪器公
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