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LabMS 3000s ICP-MS 分析高纯硫酸中杂质元素含量

简介：电子级硫酸（H2SO4）又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。 本工作采用电感耦合等离子体质谱仪 LabMS 3000s ICP-MS 来测试高纯硫酸中杂质元素含量。
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  • 上传人： 北京莱伯泰科仪器
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