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集成电路（IC）厂房洁净室如何做好AMC控制

简介：随着工艺生产技术的不断发展，IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格，说到环境首当其冲的是洁净室。一些研究结果表明，空气中的金属离子（Na、K、Fe、Cu、Zn等）会破坏绝缘层，使p-n结漏电；而氮氧化物、二氧化硫、氨、有机物、臭氧、硼、磷 详细>
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