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【微光谱应用】使用光纤光谱仪进行等离子体监测

简介：背景 半导体工业中，我们通过光刻技术制造和控制晶圆。其中蚀刻是该过程的主要环节，当在晶圆表面蚀刻时，可使用等离子体监测跟踪蚀刻穿过晶圆层，并确定等离子体何时完全蚀刻特定层并到达下一层。通过监测在蚀刻期间由等离子体产生的发射线， 详细>
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  • 上传日期：2022-04-12
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