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纳米硅材料在扫描电镜研究

简介：应用扫描电镜，应用等离子体增强化学气相沉积法对制作的纳米硅薄膜进行研究，得到颗粒和颗粒之间的原子结构图像。同时这些图像又是由更小的颗粒组成的，分成：环形，线状，网状，随机排列。
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