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用户论文(2006)：AFM氮化硅纳米探针研制

简介：【中文摘要】 在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑,用LPCVD和PECVD法淀积一层约1μm厚的氮化硅膜,通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上,最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬 详细>
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