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高精度纳米定位平台的应用

简介：nPoint高精度纳米定位和位移控制平台可在微、纳米范围内，快速实现纳米级精度的位移控制及精确定位。可在三维空间任一轴向、二个轴向和三个轴向的六个自由度上精确定位，也可按预先设定的角度完成倾斜或旋转方向定位；各个自由度的定位互不耦联 详细>
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