中文名称:X射线反射计用薄膜的厚度、密度和接口宽度的评估.仪器邀请,校准和定位,数据收集,数据分析和报告
英文名称:Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry - Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
ICS分类:35.240.70;71.040.40
中标分类:N07
发布日期:2013-02
实施日期:
替代标准:ISO/FDIS 16413-2012
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