NH3,TMA,DEA碱性气体PVD/CVD废气 local scrubber 耗材干式吸附剂

化学吸附剂介绍：大比表面积多孔性分子结构，无机物材质按配比混合成型，原料选型安全环保无二次污染。化学反应安全沉降有毒有害气体。适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation，Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC更多详情请致电联系：13510756136（莫先生）

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