1. 高精度电动平台（五年质保）
型号 | Scan 75X30 | Scan 75X50 | Scan 100X100 | Scan 150X150 | Scan 200X200 | Scan 300X300 |
行程 | 75X38 | 76X52 | 100X100 | 150X150 | 200X200 | 300X300 |
重复精度 | 1um(双向) | 1um(双向) | 0.2um | 0.2um | 1um(双向) | 1um |
准确度 | +/-3um | +/-3um | +/-3um | +/-3um | +/-3um | +/-5um |
分辨率 | 0.01um | 0.01um | 0.01um | 0.01um | 0.01um | 0.1um |
最大速度 | 60-240 mm/s | 25-50 mm/s | 60-240 mm/s | 120-240 mm/s | 60-240 mm/s | 60-240 mm/s |
2. 电动聚焦单元
型号 | MFD MFD-2 MA 42 | Piezo Z stage（纳米位移台） |
行程 | 直接耦合在显微镜Z轴旋转精细轴上
| 300um |
重复精度 | 4nm | |
准确度 | 0.5% | |
分辨率 | 0.002um | 4nm |
最大速度 | 60 rev/s | Settling time 25ms（载重 500g） |
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