Plasmaflo是可选配件
可用于任何与等离子清洗机模型结合，有利于气体混合，气体的流量和真空压力监测更精确的定量控制。
PlasmaFlo 特征：
（PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V)）
两种工艺气体比例混合控制流量，也可独立控制两种工艺气体的流量的双过程流量计
常压下最大49mL/min 的流量
精度± 2%
热电偶真空计，数值显示（范围1 to 1999 mTorr）
重量：7 lbs
尺寸：8.5" H x 10" W x 8" D
* 最大流量随工艺气体和调节压力变化。流量计可用于常见的工艺气体（空气，氩气，氮气，氧气）。
其他工艺气体请咨询 German First-Nano System （HK）Limited
参考客户：
兰州大学 郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学 清华大学医工所 兰州化物所 中科院纳米所 香港科技大学等等
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