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MEMS-FTIR（傅里叶转换红外光谱）光谱仪是一个紧凑的，低成本的傅里叶转换红外光谱仪，一个迈克尔逊干涉仪以及红外探测器都打包在一个小小的光谱仪中。通过USB连接到电脑上能够进行光谱测量以及吸光度测量。
滨松MEMS-FTIR光谱仪能够广泛的应用于环境分析、食品分析、医疗等领域。
MEMS干涉仪SEM图像：
详细参数：
便携式X射线荧光光谱分析仪TRACER 5i
布鲁克手持式XRF分析仪S1 TITAN
紫外分光光度计
岛津（Shimadzu）AIRsight红外拉曼显微镜
PERS2000系列光纤光谱仪
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