四通阀包含3个接口、1个阀门,呈垂直且共面分布,其中2个KF40接口、1个KF25接口(可根据用户要求改制),主要用于连接真空腔室与分子泵及真空规管,如磁控溅射仪、蒸发镀膜仪的高真空腔室。
主要特点
可用于高真空腔室。
技术参数
1、接口:2个KF40、1个KF25
2、阀门:1个
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