三维微调探头测量工作平台

三维测量用探头，因具有测量装在活动部的Z向端部的触针和该活动部的坐标的测量构件，该活动部具有由空气轴承构成的能沿Z坐标方向移动的滑动部，能以低测量压力高精度地进行非球面透镜等的复杂曲面的形状测定、表面光洁度、级差方面等形状测定。