常规单模光学整形镜片:
光束成形元件是衍射光学元件(DOE),用于将近高斯入射激光束转换成在特定工作平面中边缘清晰的圆形,矩形,正方形,直线或其它形状的均匀强度的斑点。均匀强度的斑点能够对表面进行相同的处理,此外,斑点的特征在于在处理区域和未处理区域之间形成清晰的边界。
光束整形有以下几种:
焦点波束成形:混合元件(透镜)或模块,在特定工作距离(镜头的BFL或模块出口位置到TOP-HAT平面的距离)上给出TOP-HAT强度分布。
角度光束成形:光学元件(窗口),可以在无穷远或无像差镜头的焦距下产生TOP-HAT强度分布。M-Shaper:在扫描线上均匀曝光的光学元件(窗口)